开云-中微公司发明专利再获中国专利奖殊荣

[导读]中微半导体装备（上海）股分有限公司和南昌中微半导体装备有限公司配合具有的发现专利“一种化学气相沉积装配和其洁净方式”荣获第二十五届中国专利奖银奖。

2025年1月9日，中国上海——中微半导体装备（上海）股分有限公司（以下简称“中微公司”，上交所股票代码：688012）和南昌中微半导体装备有限公司配合具有的发现专利“一种化学气相沉积装配和其洁净方式”（专利号：ZL201510218357.1）荣获第二十五届中国专利奖银奖。

中国专利奖是我国专利范畴的最高声誉，由国度常识产权局和世界常识产权组织结合主办，旨在鼓动勉励和表扬专利权人和发现人对手艺立异和经济社会成长所作出的凸起进献。至此，中微公司已荣获中国专利奖2项金奖、1项银奖和3项优异奖，这标记着中微公司在手艺立异和常识产权庇护方面所获得的出色成绩。

本次获奖的发现专利是中微公司MOCVD装备产物的根本焦点专利。MOCVD装备是宽禁带半导体各类微不雅器件制造的最要害装备，采取单晶外延发展手艺出产LED芯片、功率器件和其它第三代半导体器件，具有广漠的利用前景。中微公司的MOCVD装备在业界享有盛誉，其氮化镓基LED出产用MOCVD装备的市场据有率在曩昔几年内跃居全球第一，市场据有率跨越70%。

本次获奖专利从反映腔内流体动力学和蔼流散布的角度供给了一种构想新奇、奇妙的设计，使反映气体排气与反映副产品沉积物的搜集、存储彼此分手，避免了固体沉积物对排气口的梗塞，奇妙解决了MOCVD装备范畴一向困扰的排气不平均、工艺良率低、保护频仍和出产效力低等业界困难。这一冲破性的手艺，为客户供给了更靠得住、更高效的出产解决方案，有力鞭策了MOCVD装备的手艺前进，增进了LED照明与显示财产的新成长。这一立异功效进一步巩固了中微公司在MOCVD装备市场的领先地位，也为国度节能减排、下降能耗作出了庞大进献。

“中微公司持续斩获中国专利奖，彰显了中微公司在研发立异和常识产权治理方面的领先地位。”中微公司董事长兼总司理尹志尧博士暗示，“立异是中微公司成长的焦点驱动力。中微公司将始终秉持手艺立异、产物差别化和常识产权庇护的产物开辟原则，强化研发投入，不竭冲破手艺瓶颈，为客户供给更具立异性和出色品质的产物和办事，为全球半导体财产的成长进献更年夜的气力。”

关在中微半导体装备（上海）股分有限公司

中微半导体装备（上海）股分有限公司（证券简称：中微公司，证券代码：688012）致力在为全球集成电路和LED芯片制造商供给领先的加工装备和工艺手艺解决方案。中微公司开辟的CCP高能等离子体和ICP低能等离子体刻蚀两年夜类，包罗十几种细分刻蚀装备已可以笼盖年夜大都刻蚀的利用。中微公司的等离子体刻蚀装备已被普遍利用在国内和国际一线客户，涵盖从65纳米到5纳米和更进步前辈工艺的浩繁刻蚀利用。中微公司比来十年侧重开辟多种导体和半导体化学薄膜装备，如MOCVD，LPCVD，ALD和EPI装备，并获得了可喜的前进。中微公司开辟的用在LED和功率器件外延片出产的MOCVD装备早已在客户出产线上投入量产，并在全球氮化镓基LED MOCVD装备市场占有领先地位。另外，中微公司也在结构光学和电子束量检测装备，并开辟多种泛半导体微不雅加工装备。这些装备都是制造各类微不雅器件的要害装备，可加工和检测微米级和纳米级的各类器件。这些微不雅器件是现代数码财产的根本，它们正在改变人类的出产体例和糊口体例。在美国TechInsights（原VLSI Research）近五年的全球半导体装备客户满足度查询拜访中，中微公司三次取得总评分第三，薄膜装备三次被评为第一。

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